Spróbuj jeszcze G17G2I0J-14Z-5.L5
Bo l to oznacza liczbe obrotów wg. manuala do fanuca.
czyli powinno teoretycznie brać 1 mm na jedno przejście i zrobić 5 obrotów.
A co do podprogramu to

Podprogram

O666
G91
GO2I0J-14Z-0,5
M99

Program główny:

G54G90G0XOYOZ5 (X0,Y0 ŚRODEK OTWORU)
G91
G1G41X0Y14F333M8
M98P20666
.... dalsza część programu

M98P20666 PO p jest liczba powtórzeń i dalej nr podprogramu.

Możliwości jest wiele.
Możesz to zrobić np. tak jak chcesz czyli

G54G90G0XOYOZ5 (X0,Y0 ŚRODEK OTWORU)
G91
G1G41X0Y14F333M8
G2I0J-14Z-0,5
G2I0J-14Z-0,5
G2I0J-14Z-0,5

.....
G0G40X0Y0.

Albo możesz napisać to jako interpolację spiralną..
Tylko dokładnie nie wiem (bo każda książka mówi inaczej)

G54G90G0XOYOZ5 (X0,Y0 ŚRODEK OTWORU)
G91
G1G41X0Y14F333M8
G17G2I0J-14Z-0,5L20 (jedna moja książka - Fanuc mówi o L a do mitsubischi mówi ze ma być P)

Lub kolejna opcja..
Zrób interpolacje jako podprogram z G91 i wywołaj ten podprogram X razy.