Wszystko zależy od budżetu. Możliwe jest zastosowanie metod fotolitograficznych, aczkolwiek raczej nie dla każdego materiału i zapewne nie dla takiego "aspect ratio". Proste trawienie chemiczne dla tak głębokiego kanału raczej nie wchodzi w grę, gdyż działa izotropowo. Kilka moich uwag:
- nie licz na jakiś warsztat. To są technologie stosowane w półprzewodnikach, PV itp. Wchodzą w grę raczej jakieś instytuty. W naszym kraju raczej mało realne.
- koszty dla maski 100x100 mm były by duże.
- Możliwe by było wykonanie takich kanałów pewnie w metalu lub półprzewodniku. Słabiej widzę szkło czy tworzywa sztuczne. Po pierwsze zamówienie maski (chrom na szkle). Nałożenie spin coaterem emulsji na metal czy półprzewodnik. Utwardzenie termiczne. Naświetlenie konkretną dawką energii światła UV zgodnym z czułością emulsji. Wywołanie i potem suche trawienie (anizotropowe) na przykład odwróconym sputeringiem (komora próżniowa, napięcie polaryzacji, jony argonu) albo innymi bardziej zaawansowanymi metodami trawienia suchego.
Nie zauważyłem abyś zrobił porządny research przed zadaniem swojego pytania. Stwierdzenie o "wdzięczności nauki" szczerze mnie rozbawiło. Ile chcesz przeznaczyć (pieniędzy) na te badania? Co to ma być konkretnie? Jakie dotychczas uczyniłeś kroki i jakie masz rezultaty. Jak będziesz w stanie odpowiedzieć na takie pytania, to mogę podpowiedzieć gdzie zamówić (za granicą) gotową maskę w/g przesłanego projektu, gdzie kupić odpowiednią emulsję (także za granicą). Spin coater można wykonać samemu ze starego dysku HDD - tyle że w żadnym wypadku nie dla substratu 100x100. Potrzebny jest uchwyt próżniowy na substrat a więc i dostęp do pompy próżniowej. Piece do utwardzania emulsji nie wymagają zbyt wielkiej temperatury - do ogarnięcia. Można spróbować też samemu wykonać naświetlarkę na przykład na 405 nm i spróbować metodą prób i błędów skalibrować ją do posiadanej emulsji. Gorzej z komorą do trawienia suchego. Prawdopodobnie kaskada pomp (rotacyjna plus turbomolekularna), kontroler przepływu masowego, grupa gazowa, sama komora plus zasilacz do polaryzacji.
Możesz próbować pośród instytucji zajmujących się MEMS'ami ale żeby się nie ośmieszyć raczej nie wspominaj o wymiarach 100x100. Koszty były by bardzo duże.