Precyzyja 10 um

Niezupełnie to o co pytasz - tutaj: https://en.m.wikipedia.org/wiki/Photolithography w części "Resolution in projection systems" piszą że światło UV 200nm pozwala na uzyskania struktur o szerokości 50nm

grg12 pisze: ↑

11 paź 2019, 16:52

Niezupełnie to o co pytasz - tutaj: https://en.m.wikipedia.org/wiki/Photolithography w części "Resolution in projection systems" piszą że światło UV 200nm pozwala na uzyskania struktur o szerokości 50nm

Jeśli to było do mnie to pomyliłeś raczej pojęcia. W tym artykule piszą " light to transfer a geometric pattern from a photomask (also called an optical mask)" o zastosowaniu fotokopii (metody fotochemicznej) czyli to co poleciliśmy autorowi tematu na początku i tak to się zgadza. Tylko zabawą będzie właśnie przygotowanie tej maski ale urządzenia do tego również wskazałem,
Natomiast w mojej wypowiedzi pisałem jeszcze o świetle lasera które to mają różne długości fali i tak jak napisałem wcześniej laser o im dłuższej długości fali tym większa plamka dla przykładu laser CO2 i stosowane w nim lustra

Jednym słowem CO2 i lasery o podobnej długości fali odpadają, nie zbliżą się do granicy 10um

Zgadza sie - ale np. odstęp między ścieżkami CD to tylko 1.6um (https://hypertextbook.com/facts/2001/In ... aya2.shtml ) mimo że używa lasera 740nm - prawdopodobnie dzięki bardzo krótkiej ogniskowej.
Z drugiej strony twórca tematu chciał wycinać kanały od 10um do 500um szerokości "Z dokładnością 10um". Nie napisał wprawdzie do czego ale jak dla mnie pachnie to jakimś reaktorem mikroprzepływowym albo chromatografem cieczowym - przypuszczam że "typowy" kanał będzie znacznie szerszy niż 10um, może nawet do zrobienia metodami mechanicznymi. Jak dla mnie interesujący temat

Ewentualnie fototrawienie z matrycą wykonaną laserem.
W gruncie rzeczy to zależy od materiału jeśli rozważamy inne metody niż mechaniczne

Wszystko zależy od budżetu. Możliwe jest zastosowanie metod fotolitograficznych, aczkolwiek raczej nie dla każdego materiału i zapewne nie dla takiego "aspect ratio". Proste trawienie chemiczne dla tak głębokiego kanału raczej nie wchodzi w grę, gdyż działa izotropowo. Kilka moich uwag:
- nie licz na jakiś warsztat. To są technologie stosowane w półprzewodnikach, PV itp. Wchodzą w grę raczej jakieś instytuty. W naszym kraju raczej mało realne.
- koszty dla maski 100x100 mm były by duże.
- Możliwe by było wykonanie takich kanałów pewnie w metalu lub półprzewodniku. Słabiej widzę szkło czy tworzywa sztuczne. Po pierwsze zamówienie maski (chrom na szkle). Nałożenie spin coaterem emulsji na metal czy półprzewodnik. Utwardzenie termiczne. Naświetlenie konkretną dawką energii światła UV zgodnym z czułością emulsji. Wywołanie i potem suche trawienie (anizotropowe) na przykład odwróconym sputeringiem (komora próżniowa, napięcie polaryzacji, jony argonu) albo innymi bardziej zaawansowanymi metodami trawienia suchego.
Nie zauważyłem abyś zrobił porządny research przed zadaniem swojego pytania. Stwierdzenie o "wdzięczności nauki" szczerze mnie rozbawiło. Ile chcesz przeznaczyć (pieniędzy) na te badania? Co to ma być konkretnie? Jakie dotychczas uczyniłeś kroki i jakie masz rezultaty. Jak będziesz w stanie odpowiedzieć na takie pytania, to mogę podpowiedzieć gdzie zamówić (za granicą) gotową maskę w/g przesłanego projektu, gdzie kupić odpowiednią emulsję (także za granicą). Spin coater można wykonać samemu ze starego dysku HDD - tyle że w żadnym wypadku nie dla substratu 100x100. Potrzebny jest uchwyt próżniowy na substrat a więc i dostęp do pompy próżniowej. Piece do utwardzania emulsji nie wymagają zbyt wielkiej temperatury - do ogarnięcia. Można spróbować też samemu wykonać naświetlarkę na przykład na 405 nm i spróbować metodą prób i błędów skalibrować ją do posiadanej emulsji. Gorzej z komorą do trawienia suchego. Prawdopodobnie kaskada pomp (rotacyjna plus turbomolekularna), kontroler przepływu masowego, grupa gazowa, sama komora plus zasilacz do polaryzacji.
Możesz próbować pośród instytucji zajmujących się MEMS'ami ale żeby się nie ośmieszyć raczej nie wspominaj o wymiarach 100x100. Koszty były by bardzo duże.

Jeśli pomoże wykonanie mikro "jednokierunkowego" zaworu tesli za pomocą plastiku termokurczliwego

We Wrocławiu na PWr, wydział W12, pracują na podłożach fi 80. Jak będziesz chciał to dam Ci namiar na mojego dobrego kolegę który tam pracuje.

To jest generalnie temat na jakieś uczelnie/instytuty a nie na forum dla amatorów cnc. Nawet jeżeli same uczelnie nie są w stanie zrobić to jest duża szansa, że będą wiedziały gdzie pokierować.
W Warszawskiej PW, na wydziale elektroniki jest instytut mikro i optoelektroniki. Mają cleanroom, w którym są technologie do wytwarzania układów scalonych więc można tam popytać a nie tu.