Na początku też miałem jedną z nowszych wersji. Dokładnie nie pamiętam ale wydaje mi się że jak instalowałem starszą wersję to się nadpisała i ustawienia pozostały. W razie czego skopiuj obecny cały folder macha. Teoretycznie cała konfiguracja zapisuje się w pliku xml ale przynajmniej ja przy wprowadzeniu jakiś poprawek w konfiguracji kopiuje sobie folder (taki backup ustawień). W razie czego powrócisz do nowej wersji podmienisz folder i będzie po staremu. Po przeinstalowaniu macha na starszą wersję nie pamiętam ale wydaje mi się że musiałem od nowa zainstalować plugin. W machu nie powinno się nic stać ewentualnie zrób sobie printscreen ustawień plugina i wszystko gładko pójdzie. Nie ma gwarancji że jak zmienisz wersję macha makro zacznie działać (być może w makro jest mały błąd), wiem że nowe wersje macha3 są już tak zaśmiecone że sami twórcy porzucili projekt.

A jaką masz wersje macha? Ja jak miałem jedną z nowszych wersji macha to przy używaniu makra do pomiaru też wyskakiwał e-pid.
Wersja na której teraz pracuje to 022 i jak dotąd wszystko działa stabilnie.

Zobacz czy w pluginie csmio chyba w zakładce order jest zaznaczone probe protection. Jest to zabezpieczenie żeby mach nie ruszał osiami X,Y gdy wciśnięty jest sygnał probe, możliwe że dlatego wyskakuje ten epid. Jeśli się nie mylę to mach chce ruszyć osiami gdy frez stoi na czujniku na sucho działa bo po zadziałaniu czujnika mach nie próbuje osiami X,Y zjechać z czujnika . Spróbuj na chwilę wyłączyć probe protection puścić program (nie na sucho) wywołaj pomiar bez freza i ręcznie przyciśnij czujnik zobaczysz co dalej będzie.

Podnosi się z czujnika czy na nim zostaje i wyskakuje epid a może podnosi się a czujnik dalej jest aktywny?

Problem nie leży w sterowniku, e-pid jest to zabezpieczenie. Problemem jest zapewne makro, jak się domyślam używasz go do detekcji blachy na plazmie. A jakiego cam używasz ? Wklej to makro to się zobaczy. Jeszcze jedno czy po dotknięciu blachy palnik podnosi się do góry nad blachę z luzem czy może dotyka blachy i wyskakuje błąd.