Czy prawidłowo to nie wiem ale po pierwsze sprawdził bym na zegar mikronowy każdą oś.
Na zasadzie ruch 0,01mm w przód i w tył, patrzysz jaka różnica.
Wstępnie kompensujesz w sofie wpisując wartość backslash .
Później robisz to samo ale pisząc program i na posuwach, maszyna zachowuje się trochę inaczej jak jest dynamiczne przesunięcie a inaczej jak tylko 0,01.

Może koledzy wytłumaczą ci to trochę dokładniej.
Cały pic polega na tym aby zegarem odczytać różnicę ruchu do przodu i do tyłu.
Możesz spróbować najpierw zegarem setkowym jeśli takowy posiadasz może masz na tyle duży luz że już na takim zegarku będzie widać.

Na dużych obrabiarkach mamy softwerowo skomepnsowany luz o 0,01-0,03 i nie ma to wpływu na prace (oczywiście zależy co się obrabia)